En una polsada de Magnetron desequilibrada, el plasma també s'aixeca cap al substrat, i els ions d'argó també bombardegen la pel·lícula prima creixent. … La presència d'electrons al voltant del substrat condueix a la ionització d'àtoms de gas neutre i la penetració de plasma en aquesta regió.
Per què esclata un magnetró?
La
La polsació de magnetrons utilitza un camp magnètic tancat per atrapar electrons, augmentant l'eficiència del procés d'ionització inicial i creant el plasma a pressions més baixes, reduint tant la incorporació de gas de fons en el creixement. pèrdues de pel·lícula i energia a l'àtom polsat mitjançant col·lisions de gas.
Què es pot aplicar per a la polsació de magnetrons?
5 Deposició de magnetrons. La pulverització de magnetrons és una tècnica de recobriment al buit d' alta velocitat que permet la deposició de molts tipus de materials, inclosos metalls i ceràmiques, sobre tants tipus de materials de substrat mitjançant l'ús d'un magnètic format especialment camp aplicat a un objectiu de sputtering díode.
Què és la polverització de magnetrons desequilibrats de camp tancat?
El sistema de revestiment d'ions amb magnetron desequilibrat de camp tancat, desenvolupat per Teer Coatings Ltd, produeix condicions de deposició optimitzades que permeten la deposició de recobriments durs i densos amb una excel·lent adherència. L'acord CFUBMSIP està cobert per patents concedides a Teer Coatings Ltd.
Què és el magnetró desequilibrat?
Els magnetrons es classifiquen habitualment com a "equilibrats" o "desequilibrats". … Si el punt nul està a prop de la superfície objectiu, els electrons poden escapar més fàcilment i el magnetró està desequilibrat. Els dissenys desequilibrats poden produir un alt bombardeig d'ions de la pel·lícula fina alhora que la deposició.
