La fotolitografia és un procés utilitzat en la microfabricació per transferir patrons geomètrics a una pel·lícula o substrat. Les formes geomètriques i els patrons d'un semiconductor conformen les complexes estructures que permeten que els dopants, les propietats elèctriques i els cables completin un circuit i compleixin un propòsit tecnològic.
Què és el procés de fotolitografia?
La fotolitografia, també anomenada litografia òptica o litografia UV, és un procés que s'utilitza en la microfabricació per modelar peces sobre una pel·lícula fina o la massa d'un substrat (també anomenada hòstia). … En circuits integrats complexos, una hòstia CMOS pot passar pel cicle fotolitogràfic fins a 50 vegades.
Quin és el procés de microfabricació?
La microfabricació és el procés de fabricació d'estructures en miniatura d'escales micromètriques i més petites. … Els principals conceptes i principis de la microfabricació són la microlitografia, el dopatge, les pel·lícules primes, el gravat, l'enllaç i el poliment.
Què és el procés de litografia en semiconductors?
Un sistema de litografia de semiconductors duu a terme un procés mitjançant el qual es redueixen patrons de circuits molt complexos dibuixats en una fotomàscara feta d'una placa de vidre gran amb lents d' alt rendiment i s'exposen sobre un substrat de silici conegut com auna hòstia. …
Què és la litografia en procés de fabricació?
Litografia ésel procés de transferència de patrons de formes geomètriques en una màscara a una capa fina de material sensible a la radiació (anomenat resist) que cobreix la superfície d'una hòstia de semiconductors. La figura 5.1 il·lustra esquemàticament el procés litogràfic emprat en la fabricació d'IC.
