La fotolitografia s'utilitza habitualment per produir xips d'ordinador. Quan es produeixen xips d'ordinador, el material del substrat és una hòstia coberta de silici. Aquest procés permet construir centenars de xips simultàniament en una sola hòstia de silici.
Com es fa la fotolitografia?
La fotolitografia utilitza tres passos bàsics del procés per transferir un patró d'una màscara a una hòstia: revestir, desenvolupar, exposar. El patró es transfereix a la capa superficial de l'hòstia durant un procés posterior. En alguns casos, el patró de resistència també es pot utilitzar per definir el patró d'una pel·lícula fina dipositada.
Per què s'anomena fotolitografia?
Litografia de semiconductors (fotolitografia) - El procés bàsic . La fabricació d'un circuit integrat (CI) requereix una varietat de processos físics i químics realitzats en un substrat semiconductor (per exemple, silici). … La paraula litografia prové del grec lithos, que significa pedres, i graphia, que significa escriure.
Per què és important la litografia?
La litografia és el procés de transferència de patrons de formes geomètriques en una màscara a una fina capa de material sensible a la radiació (anomenat resistent) que cobreix la superfície d'una hòstia de semiconductors. La figura 5.1 il·lustra esquemàticament el procés litogràfic emprat en la fabricació d'IC.
Quin és el mètode més utilitzat en mètodes litogràfics?
ÒpticLa litografia és una tècnica basada en fotons que consisteix en projectar una imatge en una emulsió fotosensible (fotoresist) recoberta sobre un substrat com una hòstia de silici. És el procés de litografia més utilitzat en la fabricació de grans volums de nanoelectrònica per part de la indústria dels semiconductors.
